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劳厄单晶取向测试系统:
背散射劳厄测试系统,实时确定晶体方向,精度高达0.1度;
PSEL 软件定向误差低至 0.05度;
多晶硅片二维定向mapping;
大批量样品筛选;
超20kg重负荷样品定位
水平放置系统
特征 | 优点 |
<200um 光束尺寸 | 可测量小 晶体 |
电动位移台 | 可沿生长轴轴向扫描 |
电动角位移 | 与同步加速器/中子设备直接兼容 |
手动角位移 | 与切割刀具直接兼容 |
垂直放置系统
特征 | 优点 |
<200um 光斑 | 适用于小晶粒的多晶结构 |
大范围电动线性扫描位移台 | 允许自动晶圆mapping或多个样品 |
电动Z 轴驱动 | 适用大尺寸晶棒或样品 |
手动角位移 | 允许定位到+/- 0.02度精度 |
配备PSEL CCD 背反射劳厄X-RAY 探测器:
有效输入探测面约: 155*105 mm
*小输入有效像素尺寸83um,1867*1265 像素阵列
可选曝光时间从1ms 到35分钟
芯片上像素叠加允许以牺牲分辨率为代价增强灵敏度
自动背景扣除模式
16位高精度采集模式
12位快速预览模式
PSEL 劳厄影像采集处理专业软件
劳厄影像校准软件:
自动检测衍射斑点,并根据参考晶体计算斑点位置;
根据测角仪和晶体轴自动计算定向误差(不需要手动拟合扭曲的图形)
以CSV格式保存角度测量值,以进一步保证质量的可追溯性;
顶部到底部的终端用户菜单,允许资深结晶学用户自行逐步确认定位程序;
基于Python的软件,允许使用套接字命令对现有软件/系统进行远程访问控制;
系统附件包括:
劳厄X-RAY 探测器
劳厄校准软件
高亮度X-RAY 发生器
电动/手动 角位移台& 高精度位移台;
样本定位/视频监控 摄像头;
激光距离传感器/操纵杆
典型劳厄衍射应用图样:
劳厄单晶取向测试系统应用方向:
探测器材料: HgCdTe/CdTe, InGaAs, InSb;
窗口玻璃材料&压电/铁电陶瓷: Al2O3, Quantz,LiNbO3
金属合金: 钨,钼,镍基合金;
激光晶体材料: YAG, KTP, GaAs
薄膜/半导体基地材料: AIN, InP SiC;
磁性&超导材料: BCO/BSCCO/HBCCO, FeSe, NbSn/NbTi
闪烁体材料: BGO/LYSO, CdWO4, BaF2/CaF2;
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